生管部门设备 Equipment of Logistic Dept.

• 一般制程进检区
• 蚀刻进检区
• 高污染进检区
• Cu制程进检区
• Co制程进检区
• Laser刻号机

化学部门设备 Equipment of Logistic Dept.

化学处理设备 Chemical treatment Equipment

• PVD
• CVD
• 蚀刻
• 洗管机
• 湿式喷砂机 干式喷砂机
• 高溫烤箱

喷砂部门设备 Equipment of Bead blasting Dept.

• 点货区
• 金属(熔射区)
• 陶瓷(熔射区)
• 喷砂区
• ARC(熔射区)
• 量测区

清洗部门设备 Equipment of Cleaning Dept.

• 进检区
• 高压清洗区
• 震荡区
• 无尘室烤箱区
• 无尘室包装区
• Shower Head 全检机